修理・アップグレード
各種電子機器（RF電源、DC電源、マッチャー）などの修理と改善
P.R.A.はコムデル製品をはじめ、各種電源、マッチングネットワークの修理を行っております。
また、経験と知識を生かし、単なる故障箇所の修理にとどまらず、使用部品の最適化など信頼性向上につながる改善なども行っており、お客様より高い評価を受けております。
弊社で修理・アップグレードをしている主な周辺装置についてご紹介します。
修理・アップグレード製品の紹介
画像や製品名をクリックして頂きますと、詳細情報をご覧頂けます。
修理・アップグレード製品の型番一覧
DC電源
| メーカー | 型名 | 対象装置 |
| Advanced Energy(AE) | MDXシリーズ MDX-L6 MDX-L12 MDX-L12M MDX-L12M-650 MDX-L18M MDX-HALO | ENDURA |
| Advanced Energy(AE) | Pinnacleシリーズ Pinnacle20K Pinnacke12K Pinnacle10K Pinnacle6K | ENDURA ULVAC |
| Advanced Energy(AE) | MDLシリーズ MDL-1501 MDL-1001 | ULVAC |
| ANELVA | PDC-307シリーズ PDC-157シリーズ | ANELVA |
| MKS(ENI) | DCGシリーズ DCG100 DCG-200 DCG-400 |
RF電源
| メーカー | 型名 | 対象装置 |
| Advanced Energy(AE) | APEX-3013 PDX-900 RFG-2000-2V | PRODUCER |
| RFG-5500 | C2 SPEED SEQUEL | |
| RFG-3000 | C2/ALTUS | |
| RFG-1251 | INOVA | |
| RFG-1250 RFDS-1250 RFG-1250 Halo | Alliance | |
| AE(RFPP) |
LF-10A | ENDURA |
| RF-20R | CENTURA DPS | |
| RF-30S | AspenⅢ | |
| RF-10S | Aspen II | |
| ADTEC | AX-1000II-ASM | Eagle10 |
| COMDEL |
CPS-1001/1001S CDX-2000 CPS-500 CB-250 CLX-2500 CX-600 | ENDURA |
| CLX-1250 | INOVA | |
| DAIHEN |
WGA-30A AGA-27A | UNITY |
| MFG-20SA | TE8500 | |
| MKS(ENI) | OEM-12A OEM-12B OEM-6 | P5000 CENTURA |
| NOVA50-04 GHW-50A | CENTURA HDP | |
| GMW-25A | CENTURA DPS | |
| OEM-50 OEM-25N OEM-28B | C1 | |
| OB1-3 | Excellan | |
| OEM-6 PL-2HF | TE5000 | |
| OEM-10B | TE7500 | |
| GEW-30A | UNITY-85ME | |
| NOVA50A-02 | UNITY lle855 | |
| OEM-25B-01 OEM-20B | Telius DRM | |
| ULVAC | RFS-05C | RFS-05C |
| パール工業 |
LP500-800KB | M501 |
| LP150-800KB | M511 | |
| RP-3000-27M | UNITY IEM | |
| Seren |
HR2001-1P-2, HR2001-3P, HR2001-3P-2M, HR2501-3P, HR3001, HR3001-2M | |
| HR5001, HR5001-2M, HR10001, HR20001, HR30001 | ||
| HR601-60, HR601-LF, HR1001-LF, HR10,001-LF | ||
| I2000-AC ,I2000-WC, I2000-D-AC, JY2501-AC, RFS3, RFS2 |
マッチャー
| メーカー | 型名 | 対象装置 |
| Advanced Energy(AE) | MFA(3155094-003) BiasMatch(3155031-037 3155031-043 3155031-014) AZX-Dome(1110-01043 1110-01046 1110-01063) | PRODUCER |
|
Applied Materials(AMAT) |
0010-20524 0010-20525 0010-12456 0010-13622 0010-13627 0010-15877 0010-20440 0010-25893 0010-02977 0010-22161 0010-22225 0010-26029 0010-30094 0010-09750 0010-18129 0010-18130 0010-36114 0010-36408 0010-09490 0010-36162 0010-09416 0010-09417 0010-30686 | ENDURA CENTURA P5000 |
|
ADTEC |
AM-1000S-ASM | Eagle 10 |
|
ASTECH |
TH-30RN | E-628 |
|
COMDEL |
LF Fixed Match(0190-11913) | ENDURA |
|
DAIHEN |
MFM-20SA | TE8500 |
|
DAIHEN |
RMN-50P AMN-50B2 | Telius SCCM |
| Lam Research | 853-025735R00 853-330951-021 853-032294-002 | Alliance |
| MKS(ENI) | MW-10LD | TE7500 |
| MW2-30-02 | UNITY-88SCCM | |
| MWD-25LD-02 | Telius DRM | |
| NOVELLUS | 02-255013-00 | C2 SPEED |
| RF Service | RFS-1000 | AspenII |
| Trazar |
AMU2-1 | C1 |
| AMU10E-1 AMU10E-2 SRN1-2 | C2 SPEED | |
| AMU-10D-1 AMU-10D-2 | AspenII | |
| ULVAC | MBX-05EA5 | ZX1000 |
| パール工業 | RP-50-2M | HITACHI |
| Seren |
AT3, AT6, AT10, AT20, AT30 | |
| AT50-75, AT50-140, AT100-160, AT200, AT300, MC2 | ||
| ATS3, ATS6, ATS10, ATS20, ATS30, ATS50-75, ATS50-140 | ||
| ATS100-140, ATS100-160, ATS100-180, ATS100-350, ATS200, MCRS |
搬送ロボット関連
| メーカー | 品名 | 型名 |
|
EQUIPE TECHNOLOGIES |
ロボット | ATM-104,ATM-105-1-CE,ATM-105-2,ATM-107 ATM-204,ATM-207 ATM-305 ATM-405,ATM-405-1-S-CE,ABM-405-1-NOZ,ATM-407B |
| プリアライナー | PRE-200,PRE-201,PRE-200B-CE PRE-300,PRE-300B-CE,PRE-300U-CE,PRE-301 |
|
|
BROOKS PRI AUTOMATION |
コントローラ | ESC-200,ESC-201B ESC-212-S293-CE ESC-212B,ESC-218B |
|
MECS |
ロボット | UTX-1000,UTX-1100,UTX-1200 UTX1100P,UTX1100PASM,UTX1200PT,UTX1200P |
| コントローラ | CS-1000 |
P.R.A.は、「プラズマを作る周辺装置」を製作・修理する企業です。
プラズマで困ったことがあったら、まずP.R.A.にご相談ください。
