製品の型番一覧
DC電源
| メーカー | 型名 | 対象装置 |
| Advanced Energy(AE) | MDXシリーズ MDX-L6 MDX-L12 MDX-L12M MDX-L12M-650 MDX-L18M MDX-HALO | ENDURA |
| Advanced Energy(AE) | Pinnacleシリーズ Pinnacle20K Pinnacke12K Pinnacle10K Pinnacle6K | ENDURA ULVAC |
| Advanced Energy(AE) | MDLシリーズ MDL-1501 MDL-1001 | ULVAC |
| MKS(ENI) | DCGシリーズ DCG100 DCG-200 DCG-400 | ENDURA |
| ANELVA | PDC-307シリーズ PDC-157シリーズ | ANELVA |
RF電源
| メーカー | 型名 | 対象装置 |
| COMDEL | CPS-1001/1001S CDX-2000 CPS-500 CB-250 CLX-2500 CX-600 | ENDURA |
| CLX-1250 | INOVA | |
| Advanced Energy(AE) | APEX-3013 PDX-900 RFG-2000-2V | PRODUCER |
| RFG-5500 | C2 SPEED SEQUEL | |
| RFG-3000 | C2/ALTUS | |
| RFG-1251 | INOVA | |
| RFG-1250 RFDS-1250 RFG-1250 Halo | Alliance | |
| AE(RFPP) |
LF-10A | ENDURA |
| RF-20R | CENTURA DPS | |
| RF-30S | AspenⅢ | |
| RF-10S | Aspen II | |
| MKS(ENI) | OEM-12A OEM-12B OEM-6 | P5000 CENTURA |
| NOVA50-04 GHW-50A | CENTURA HDP | |
| GMW-25A | CENTURA DPS | |
| OEM-50 OEM-25N OEM-28B | C1 | |
| OB1-3 | Excellan | |
| OEM-6 PL-2HF | TE5000 | |
| OEM-10B | TE7500 | |
| GEW-30A | UNITY-85ME | |
| NOVA50A-02 | UNITY lle855 | |
| OEM-25B-01 OEM-20B | Telius DRM | |
| パール工業 |
LP500-800KB | M501 |
| LP150-800KB | M511 | |
| RP-3000-27M | UNITY IEM | |
| DAIHEN | WGA-30A AGA-27A | UNITY |
| MFG-20SA | TE8500 | |
| ADTEC | AX-1000II-ASM | Eagle10 |
| ULVAC | RFS-05C | ZX1000 |
| Seren |
HR2001-1P-2, HR2001-3P, HR2001-3P-2M, HR2501-3P, HR3001, HR3001-2M | |
| HR5001, HR5001-2M, HR10001, HR20001, HR30001 | ||
| HR601-60, HR601-LF, HR1001-LF, HR10,001-LF | ||
| I2000-AC ,I2000-WC, I2000-D-AC, JY2501-AC, RFS3, RFS2 |
マッチャー
| メーカー | 型名 | 対象装置 |
| Applied Materials(AMAT) | 0010-20524 0010-20525 0010-12456 0010-13622 0010-13627 0010-15877 0010-20440 0010-25893 0010-02977 0010-22161 0010-22225 0010-26029 0010-30094 0010-09750 0010-18129 0010-18130 0010-36114 0010-36408 0010-09490 0010-36162 0010-09416 0010-09417 0010-30686 | ENDURA CENTURA P5000 |
| Trazar | AMU2-1 | C1 |
| AMU10E-1 AMU10E-2 SRN1-2 | C2 SPEED | |
| AMU-10D-1 AMU-10D-2 | AspenII | |
| Lam Research | 853-025735R00 853-330951-021 853-032294-002 | Alliance |
| MKS(ENI) | MW-10LD | TE7500 |
| MW2-30-02 | UNITY-88SCCM | |
| MWD-25LD-02 | Telius DRM | |
| COMDEL | LF Fixed Match(0190-11913) | ENDURA |
| ULVAC | MBX-05EA5 | ZX1000 |
| NOVELLUS | 02-255013-00 | C2 SPEED |
| ADTEC | AM-1000S-ASM | Eagle 10 |
| DAIHEN | MFM-20SA | TE8500 |
| DAIHEN | RMN-50P AMN-50B2 | Telius SCCM |
| ASTECH | TH-30RN | E-628 |
| パール工業 | RP-50-2M | HITACHI |
| RF Service | RFS-1000 | AspenII |
| Advanced Energy(AE) | MFA(3155094-003) BiasMatch(3155031-037 3155031-043 3155031-014) AZX-Dome(1110-01043 1110-01046 1110-01063) | PRODUCER |
| Seren |
AT3, AT6, AT10, AT20, AT30 | |
| AT50-75, AT50-140, AT100-160, AT200, AT300, MC2 | ||
| ATS3, ATS6, ATS10, ATS20, ATS30, ATS50-75, ATS50-140 | ||
| ATS100-140, ATS100-160, ATS100-180, ATS100-350, ATS200, MCRS |
搬送ロボット関連
| メーカー | 品名 | 型名 |
|
EQUIPE TECHNOLOGIES |
ロボット | ATM-104,ATM-105-1-CE,ATM-105-2,ATM-107 ATM-204,ATM-207 ATM-305 ATM-405,ATM-405-1-S-CE,ABM-405-1-NOZ,ATM-407B |
| プリアライナー | PRE-200,PRE-201,PRE-200B-CE PRE-300,PRE-300B-CE,PRE-300U-CE,PRE-301 |
|
|
BROOKS PRI AUTOMATION |
コントローラ | ESC-200,ESC-201B ESC-212-S293-CE ESC-212B,ESC-218B |
|
MECS |
ロボット | UTX-1000,UTX-1100,UTX-1200 UTX1100P,UTX1100PASM,UTX1200PT,UTX1200P |
| コントローラ | CS-1000 |
P.R.A.は、「プラズマを作る周辺装置」を製作・修理する企業です。
プラズマで困ったことがあったら、まずP.R.A.にご相談ください。
